Большая советская энциклопедия:
Ионно-сорбционный насос
Вакуумный насос, в котором химически активные газы удаляются за счёт сорбции их геттерами (См. Геттеры), а инертные газы — в результате интенсивной ионизации в виде ионов под действием электрического поля. С помощью И.-с. н. достигают разрежения 10-7 н/м2 (10-9 мм рт. ст.).
© «СловоТолк.Ру» — толковые и энциклопедические словари, 2007-2020