Большой энциклопедический словарь:
ФОТОРЕЗИСТЫ — органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающих устройств и др. по методу планарной технологии для формирования заданного рельефного рисунка на поверхности полупроводника или диэлектрической основы перед ее легированием.
© «СловоТолк.Ру» — толковые и энциклопедические словари, 2007-2020